Thermodynamical study of the thermal nitridation for the system NH3/monocristalline Si

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标题	[高分] Thermodynamical study of the thermal nitridation for the system NH3/monocristalline Si NH3/单晶硅体系热氮化的热力学研究相关领域单晶硅叠加原理热力学平衡热力学化学热力学化学平衡热力学平衡硅非平衡态热力学自催化反应氮化硅化学反应薄膜统计物理学材料科学化学物理纳米技术量子力学冶金生物化学
网址	https://doi.org/10.1051/epjap:1999215
DOI	10.1051/epjap:1999215 doi
其它	期刊：The European Physical Journal Applied Physics 作者：Z. Sassi; J.C. Bureau; Khalid Chafik 出版日期：1999-09-01
求助人	虫不知在 2025-10-14 01:06:58 发布自青海，悬赏 50 积分
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