Effects of high temperature annealing and laser irradiation on activation rate of phosphorus

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标题	Effects of high temperature annealing and laser irradiation on activation rate of phosphorus 高温退火和激光辐照对磷活化率的影响相关领域活化能辐照退火（玻璃）杂质飞秒材料科学激光器硅分析化学（期刊）离子放射化学化学光电子学光学复合材料物理化学核物理学物理有机化学色谱法
网址	https://iopscience.iop.org/article/10.1088/1674-4926/41/12/1...
DOI	10.1088/1674-4926/41/12/122701 doi
其它	期刊：Journal of Semiconductors 作者：Shaojie Li; Peide Han 出版日期：2020-12-18
求助人	混子王在 2025-09-06 22:19:37 发布自北京，悬赏 10 积分
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