Two modes of laser lithography fabrication of three-dimensional submicrometer structures

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标题	Two modes of laser lithography fabrication of three-dimensional submicrometer structures 三维亚微米结构激光光刻制作的两种模式相关领域材料科学制作平版印刷术激光器光学电子束光刻光学（聚焦）光栅图形光栅扫描光子晶体扫描电子显微镜光子学激光扫描光电子学抵抗纳米技术复合材料病理人工智能物理医学计算机科学替代医学图层（电子）
网址	https://doi.org/10.1134/s1063783414110262
DOI	10.1134/s1063783414110262 doi
其它	期刊：Physics of the Solid State 作者：Ivan I. Shishkin; K. B. Samusev; Mikhail V. Rybin; M. F. Limonov; Roman Kiyan; et al 出版日期：2014-11-01
求助人	寒冷晓凡在 2025-08-15 08:47:16 发布自江苏，悬赏 10 积分
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