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 Design and analysis of multi-layer Si3N4 waveguide coil for integrated optical gyroscope 集成光学陀螺用多层Si3N4波导线圈的设计与分析
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期刊：Optical Engineering 作者：Yue Chen; Zhenkun Yuan; Dingbo Chen; Xiangning Wei; Huan Chen; et al 出版日期：2024-12-05 |
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