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标题
Selective dry etching of silicon with heat-mode resist GeSb for the preparation of metasurfaces
网址
https://doi.org/10.1016/j.mssp.2024.108774
DOI
10.1016/j.mssp.2024.108774 doi
其它 期刊：Materials Science in Semiconductor Processing
作者：Xu Zeng; Kui Zhang; Jingsong Wei; Jiahao Chi; Haolin Dai; et al
出版日期：2024-08-08
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昭昭昭昭 在 2026-09-28 10:56:44 发布自湖北，悬赏 10 积分
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