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Phosphorus redistribution in the surface region of heavily phosphorus doped silicon
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DOI
10.1016/0169-4332(96)00339-x doi
其它 期刊:Applied Surface Science
作者:Yusuke Mizokawa; Wen-Biao Ying; Yong-Bing Yu; Yoshitomo Kamiura; Makio Iida; et al
出版日期:1996-07-02
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