High-damped accelerometer based on squeeze-film damping and piezoresistive nanogauge detection for vibrating environments

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标题	High-damped accelerometer based on squeeze-film damping and piezoresistive nanogauge detection for vibrating environments
网址	http://xplorestaging.ieee.org/ielx7/7986674/7993963/07994121...
DOI	10.1109/transducers.2017.7994121 doi
其它	期刊：2017 19th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (TRANSDUCERS) 作者：B. Fain; A. Chaehoi; A. Berthelot; T. Verdot; F. Souchon; et al 出版日期：2017-08-10
求助人	沧源在 2026-10-25 19:35:41 发布自北京，悬赏 10 积分
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