Temperature control system based on Active Disturbance Rejection Control and its parameter optimization in large-sized monolithic silicon epitaxy equipment reactor

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标题	Temperature control system based on Active Disturbance Rejection Control and its parameter optimization in large-sized monolithic silicon epitaxy equipment reactor
网址	https://doi.org/10.1016/j.jprocont.2025.103430
DOI	10.1016/j.jprocont.2025.103430 doi
其它	期刊：Journal of Process Control 作者：J. Suo; Bo Jin; Lingfeng Zhu; Wenjie Shen 出版日期：2025-04-10
求助人	英吉利25 在 2026-10-16 16:19:32 发布自天津，悬赏 10 积分
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