脉冲激光沉积镀二硫化钼遇到的问题

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弓长广发
弓长广发 2 来自广东 发表于:2026-03-23 21:47:50

本人想问一下,使用脉冲激光沉积技术制备二硫化钼薄膜,参数是5hz 200mj 使用248nm激光,温度的话500-700都有试过,在镀膜过程中辉光非常小,几乎没有,已排除是仪器,光路,光斑面积等问题,难不成是靶材有问题吗?


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