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脉冲激光沉积镀二硫化钼遇到的问题

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弓长广发
弓长广发 来自广东， 发表于：2026-03-23 21:47:50

本人想问一下，使用脉冲激光沉积技术制备二硫化钼薄膜，参数是5hz 200mj 使用248nm激光，温度的话500-700都有试过，在镀膜过程中辉光非常小，几乎没有，已排除是仪器，光路，光斑面积等问题，难不成是靶材有问题吗？

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