B4C and WC as viable alternatives to SiC for plasma-facing components in semiconductor manufacturing

半导体 半导体器件制造 等离子体 材料科学 碳化硅 工程物理 制造工程 光电子学 冶金 工程类 物理 核物理学 薄脆饼
作者
Hun Shim,Young‐Jo Park,Seong‐Hyeon Hong
出处
期刊:Applied Surface Science [Elsevier BV]
卷期号:: 162960-162960
标识
DOI:10.1016/j.apsusc.2025.162960
最长约 10秒,即可获得该文献文件

科研通智能强力驱动
Strongly Powered by AbleSci AI
科研通是完全免费的文献互助平台,具备全网最快的应助速度,最高的求助完成率。 对每一个文献求助,科研通都将尽心尽力,给求助人一个满意的交代。
实时播报
纸芯完成签到 ,获得积分10
4秒前
悠悠完成签到,获得积分10
6秒前
11秒前
huahua完成签到 ,获得积分10
14秒前
17秒前
研友_VZG7GZ应助初之采纳,获得10
20秒前
qqqq发布了新的文献求助10
20秒前
可莉完成签到 ,获得积分10
22秒前
27秒前
NexusExplorer应助SC采纳,获得10
28秒前
海边听海完成签到 ,获得积分0
29秒前
文静醉易完成签到,获得积分10
29秒前
33秒前
JS完成签到,获得积分10
35秒前
35秒前
35秒前
苍鹰完成签到,获得积分10
38秒前
Dannerys完成签到 ,获得积分10
39秒前
笨笨梦松发布了新的文献求助10
40秒前
Leon完成签到 ,获得积分0
44秒前
44秒前
49秒前
宇老师发布了新的文献求助10
49秒前
SC发布了新的文献求助10
51秒前
53秒前
乐观健柏完成签到,获得积分10
53秒前
54秒前
dongsanmuer发布了新的文献求助10
54秒前
John完成签到 ,获得积分10
54秒前
和尘同光完成签到,获得积分10
55秒前
qqy发布了新的文献求助10
58秒前
万能图书馆应助宇老师采纳,获得10
58秒前
易止完成签到 ,获得积分10
58秒前
小龙发布了新的文献求助10
1分钟前
玼桃树完成签到 ,获得积分10
1分钟前
1分钟前
宇老师完成签到,获得积分10
1分钟前
1分钟前
易水完成签到 ,获得积分10
1分钟前
Luke Gee完成签到 ,获得积分10
1分钟前
高分求助中
【此为提示信息,请勿应助】请按要求发布求助,避免被关 20000
Continuum Thermodynamics and Material Modelling 2000
Encyclopedia of Geology (2nd Edition) 2000
105th Edition CRC Handbook of Chemistry and Physics 1600
Maneuvering of a Damaged Navy Combatant 650
Периодизация спортивной тренировки. Общая теория и её практическое применение 310
Mixing the elements of mass customisation 300
热门求助领域 (近24小时)
化学 材料科学 医学 生物 工程类 有机化学 物理 生物化学 纳米技术 计算机科学 化学工程 内科学 复合材料 物理化学 电极 遗传学 量子力学 基因 冶金 催化作用
热门帖子
关注 科研通微信公众号,转发送积分 3779313
求助须知:如何正确求助?哪些是违规求助? 3324813
关于积分的说明 10220135
捐赠科研通 3039971
什么是DOI,文献DOI怎么找? 1668528
邀请新用户注册赠送积分活动 798717
科研通“疑难数据库(出版商)”最低求助积分说明 758503