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Improved design of optical-microforce sensor with high thermal-mechanical stability for insulation charge ellipsometer testing application

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作者

Haoyu Gao,Tianrun Qi,Hanwen Ren,Qingmin Li,Yiqun Ma,Tao Xiao,Yidan Ma,Jian Wang

出处

期刊：Sensors and Actuators A-physical [Elsevier BV]
日期：2024-11-05 卷期号：380: 116035-116035 被引量：2

标识

DOI：10.1016/j.sna.2024.116035

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