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Design and Analysis of SAW Gas Sensor Utilizing AIN/Diamond/Si Multilayered Structure for VOCs Detection

钻石固体物理学气体分析材料科学金刚石立方光电子学分析化学（期刊）化学复合材料环境化学物理凝聚态物理

作者

Ziad Abu Waar,Mohamed Moustafa

出处

期刊：Journal of Electronic Materials [Springer Science+Business Media]
日期：2024-07-13 卷期号：53 (9): 5255-5264 被引量：3

标识

DOI：10.1007/s11664-024-11282-8

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