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Comparative Analysis of the GaN Nonpolar Plane Morphology by Wet Treatment and Its Effect on Electrical Properties in Trench MOSFET
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Jiaan Zhou,
Wenxin Tang,
Tao Ju,
Heng Wang,
Guohao Yu,
Xin Zhou,
Li Zhang,
Kun Xu,
Xuan Zhang,
Xuan Zhang,
Zhongming Zeng,
Xinping Zhang,
Xinping Zhang,
Baoshun Zhang
出处
期刊：
ACS Applied Materials & Interfaces
[American Chemical Society]
日期：2023-05-16
卷期号：15 (21): 26159-26165
被引量：8
链接
nih.gov
doi.org
标识
DOI：10.1021/acsami.3c02840
摘要
-plane sidewall devices. The temperature dependence on mobility is also discussed, and a modeling analysis for the difference in carrier mobility is then performed.
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