Comparative Analysis of the GaN Nonpolar Plane Morphology by Wet Treatment and Its Effect on Electrical Properties in Trench MOSFET

材料科学 沟槽 平面(几何) 棱镜 六角棱镜 之字形的 形态学(生物学) 光电子学 复合材料 光学 几何学 结晶学 六方晶系 化学 图层(电子) 物理 生物 遗传学 数学
作者
Jiaan Zhou,Wenxin Tang,Tao Ju,Heng Wang,Guohao Yu,Xin Zhou,Li Zhang,Kun Xu,Xuan Zhang,Xuan Zhang,Zhongming Zeng,Xinping Zhang,Xinping Zhang,Baoshun Zhang
出处
期刊:ACS Applied Materials & Interfaces [American Chemical Society]
卷期号:15 (21): 26159-26165 被引量:8
标识
DOI:10.1021/acsami.3c02840
摘要

-plane sidewall devices. The temperature dependence on mobility is also discussed, and a modeling analysis for the difference in carrier mobility is then performed.
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