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Si1-x Gex structures fabricated by focused ion beam implantation

离子注入 材料科学 锗 离子 离子束 结晶学 光电子学 硅 化学 有机化学
作者
Theodore Ganetsos,D. Tsamakis,D. Panknin,G L R Mair,J. Teichert,L. Bischoff,Konstantinos Aidinis
出处
期刊：Journal de physique [EDP Sciences]
日期：1998-06-01 卷期号：08 (PR3): Pr3-112 被引量：1
标识
DOI：10.1051/jp4:1998325
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