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Flexible Atomic Layer Deposition System for Coating Porous Materials

原子层沉积材料科学涂层图层（电子）沉积（地质）多孔性逐层复合材料化学工程纳米技术

作者

Lee, Woo-Jae,Kwon, Ohhun,Huang, Renjing,Lin, Chao,Gorte, Raymond,Vohs, John

出处

期刊：Journal of vacuum science & technology [American Institute of Physics]
日期：2022-02-01

链接

osti.govdoi.org

标识

DOI：10.1116/6.0001679

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