Chlorine Precursors For Gate Oxidation Processes

材料科学 环境化学 化学气相沉积 化学工程 纳米技术 无机化学 化学 冶金 工程类
作者
M. Geary,P. Mertens,Bert Vermeire,Marc Heyns,Hessel Sprey,A Lubbers,Marc Schaekers
出处
期刊:MRS Proceedings [Cambridge University Press]
卷期号:447 被引量:1
标识
DOI:10.1557/proc-447-115

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