XRD and RBS studies of quasi-amorphous zinc oxide layers produced by Atomic Layer Deposition

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作者
E. Guziewicz,A. Turos,A. Stonert,Dmytro Snigurenko,B.S. Witkowski,R. Diduszko,Moni Béhar
出处
期刊:Thin Solid Films [Elsevier BV]
卷期号:612: 337-341 被引量:4
标识
DOI:10.1016/j.tsf.2016.06.013
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