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Room temperature synthesis of boron nitride thin films by dual-ion beam sputtering deposition
作者
Z.F. Wu,
Lei Guo,
Kun Cheng,
Feng Zhang,
Rentian Guan
出处
期刊:
Ceramics International
[Elsevier BV]
日期:2015-11-22
卷期号:42 (3): 4171-4175
被引量:4
标识
DOI:10.1016/j.ceramint.2015.11.090
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