薄脆饼
材料科学
铝
溅射沉积
硅
光电子学
溅射
氮化物
氮化铝
氮化硅
腔磁控管
薄膜
复合材料
图层(电子)
纳米技术
作者
Zulkifli Azman,Nafarizal Nayan,Muhammad Khairin Shafiq Shaiful Nazri,Ahmad Shuhaimi Abu Bakar,Riyaz Ahmad Mohamed Ali,Faezahana Mohkhter,Norain Sahari,Mohd Rofei Mat Hussin
标识
DOI:10.1109/iemt61324.2024.10875098
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