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Investigating Crystallography and Thickness Distribution of Aluminium Nitride Thin Films Prepared by Magnetron Sputtering on Silicon Wafer
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纳米技术
作者
Zulkifli Azman,
Nafarizal Nayan,
Muhammad Khairin Shafiq Shaiful Nazri,
Ahmad Shuhaimi Abu Bakar,
Riyaz Ahmad Mohamed Ali,
Faezahana Mohkhter,
Norain Sahari,
Mohd Rofei Mat Hussin
标识
DOI：10.1109/iemt61324.2024.10875098
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