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Properties of SiO2 Thin Films Deposited by Atomic Layer Deposition in relation to Growth Temperature

原子层沉积 图层（电子） 沉积（地质） 材料科学 薄膜 逐层 关系（数据库） 纳米技术 计算机科学 地质学 沉积物 数据库 古生物学
作者
Geon Park,nbsp Inseo Kim,nbsp Hojung Sun,nbsp Yongjei Lee,nbsp Kimoon Lee,nbsp JungYup Yang
出处
期刊：새물리 [Korean Physical Society]
日期：2023-01-31 卷期号：73 (1): 23-28
标识
DOI：10.3938/npsm.73.23
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