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Growth of Ga2O3 thin films on Si(111) substrates by metal-organic chemical vapor deposition

化学气相沉积薄膜燃烧化学气相沉积金属材料科学沉积（地质）化学工程化学碳膜纳米技术冶金地质学古生物学沉积物工程类

作者

Weiqu Chen,Tiecheng Luo,Zhuo Yang,Xifu Chen,Yanli Pei,Zimin Chen,Gang Wang,Hao Jiang

出处

期刊：Vacuum [Elsevier BV]
日期：2025-04-01 卷期号：: 114318-114318

标识

DOI：10.1016/j.vacuum.2025.114318

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