Stress and crack dynamics in nanosecond laser slicing of silicon carbide

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作者
Wenxiao Wu,Xiangyu Yu,Bin Li,Xiangqian Xiu,Youdou Zheng,Rong Zhang
出处
期刊:Applied Surface Science [Elsevier BV]
卷期号:697: 163052-163052 被引量:8
标识
DOI:10.1016/j.apsusc.2025.163052
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