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Validation of ion temperature measurement using an ion sensitive probe technique in finite boundary RF plasma

作者
Hiroyuki Takahashi,K. Ogasawara,Peerapat BOONYARITTIPONG,Takeshi SAIKYO,Tomohiro Seino,S. Kitajima,A. Okamoto,K. Tobita
出处
期刊：Physics of Plasmas [American Institute of Physics]
日期：2019-02-01 卷期号：26 (2) 被引量：4
标识
DOI：10.1063/1.5083214
摘要
Validation of ion sensitive probe (ISP) measurements in radio-frequency plasma was investigated using Doppler spectroscopy. Ion temperature Ti obtained by an ISP was consistent with that obtained by Doppler spectroscopy when the recessed distance between two electrodes h satisfied 10ρe
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