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Characterization of SiNx:H thin film as a hydrogen passivation layer for silicon solar cells with passivated contacts

钝化等离子体增强化学气相沉积氮化硅材料科学硅化学气相沉积图层（电子）薄膜晶体硅太阳能电池光电子学化学工程纳米技术工程类

作者

Jae Eun Kim,Se Jin Park,Ji Yeon Hyun,Hyomin Park,Soohyun Bae,Kwang-sun Ji,Hyunho Kim,Kyung Dong Lee,Yoonmook Kang,Hae‐Seok Lee,Donghwan Kim

出处

期刊：Thin Solid Films [Elsevier]
日期：2019-02-11 卷期号：675: 109-114 被引量：15

标识

DOI：10.1016/j.tsf.2019.02.016

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