Room Temperature Deposition of Indium Zinc Oxide Films on PES Substrate by LF Magnetron Sputtering

材料科学 基质(水族馆) 溅射沉积 光电子学 沉积(地质) 溅射 腔磁控管 冶金 薄膜 化学工程 纳米技术 古生物学 海洋学 沉积物 工程类 生物 地质学
作者
Eun Lyoung Kim,Sang Kooun Jung,Choong Soo Kim,Duck Kyu Park,Ho-Young Cho,Sung Ho Lee
出处
期刊:Journal of the Korean Physical Society [Springer Science+Business Media]
卷期号:51 (2): 589-593 被引量:4
标识
DOI:10.3938/jkps.51.589
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