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作者
A. Bajolet,
J-P. Manceau,
S. Bruyère,
R. Clerc,
M. Proust,
Nicolas Gaillard,
J-C. Giraudin,
P. Delpech,
L. Montès,
G. Ghibaudo
出处
期刊：
Microelectronic Engineering
[Elsevier]
日期：2006-10-19
卷期号：83 (11-12): 2189-2194
被引量：12
标识
DOI：10.1016/j.mee.2006.10.004
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