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Impact of TiN post-treatment on metal insulator metal capacitor performances

锡电极材料科学电容器金属绝缘体金属化学气相沉积绝缘体（电）电容原子层沉积电介质分析化学（期刊）光电子学薄膜纳米技术化学冶金电压电气工程工程类物理化学色谱法

作者

A. Bajolet,J-P. Manceau,S. Bruyère,R. Clerc,M. Proust,Nicolas Gaillard,J-C. Giraudin,P. Delpech,L. Montès,G. Ghibaudo

出处

期刊：Microelectronic Engineering [Elsevier]
日期：2006-10-19 卷期号：83 (11-12): 2189-2194 被引量：12

标识

DOI：10.1016/j.mee.2006.10.004

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