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Chip-level integration of RF MEMS on-chip inductors using UV-LIGA technique

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作者

Daniel Sang-Won Park,Youngkyun Jeong,Jeong‐Bong Lee,Sungyong Jung

出处

期刊：Microsystem Technologies-micro-and Nanosystems-information Storage and Processing Systems [Springer Science+Business Media]
日期：2008-01-07 卷期号：14 (9-11): 1429-1438 被引量：14

标识

DOI：10.1007/s00542-007-0532-9

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