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作者
В. В. Каичев,Yu. V. Dubinin,T. P. Smirnova,М. С. Лебедев
标识
DOI：10.1134/s002247661103005x
摘要
By X-ray photoelectron spectroscopy (XPS), using the technique of layer-by-layer analysis, the films of (HfO2)x(Al2O3)1−x solid solutions synthesized by chemical vapor deposition are studied. The possibility to determine the structure of solid binary solutions based on the analysis of the XPS spectra is demonstrated.
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