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Formation of conductive copper lines by femtosecond laser irradiation of copper nitride film on plastic substrates

材料科学铜扫描电子显微镜飞秒轮廓仪激光器溅射沉积光学光电子学氮化物基质（水族馆）溅射薄膜表面粗糙度复合材料纳米技术冶金图层（电子）地质学物理海洋学

作者

Xiaodong Xu,Ningyi Yuan,Jianhua Qiu,Jianning Ding

出处

期刊：Materials Research Bulletin [Elsevier]
日期：2015-01-09 卷期号：65: 68-72 被引量：11

标识

DOI：10.1016/j.materresbull.2015.01.029

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