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Inducing chemical selectivity in the atomic layer deposition (ALD) of oxide films via gas-phase silylation using N-(trimethylsilyl)dimethylamine (TMSDMA)

原子层沉积硅烷化 X射线光电子能谱氧化物无机化学选择性硅沉积（地质）钛图层（电子）金属氧化钛化学材料科学化学工程薄膜氧化硅过渡金属铜二氧化钛分子等效氧化层厚度选择性表面

作者

Mohammed Sadman Alam,Francisco Zaera

出处

期刊：Applied Surface Science [Elsevier BV]
日期：2026-06-18 卷期号：746: 167569-167569

标识

DOI：10.1016/j.apsusc.2026.167569

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