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Application of LIGA process in fabrication of movable microstructures
作者
You Wang
出处
期刊：Journal of Transducer Technology
日期：2001-01-01
链接
cnki.com.cn
摘要
By combining LIGA technigue with a sacrificial layer technique,the movable microstructures microsensor and a three dimensional acceleration sensor are also to be fabricated.The typical LIGA process and its applications are briefly presented.
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