Vertically aligned silicon nanowires with rough surface and its NO2 sensing properties

蚀刻(微加工) 材料科学 纳米线 各向同性腐蚀 表面粗糙度 粗糙表面 纳米技术 硅纳米线 表面光洁度 光电子学 吸附 图层(电子) 复合材料 化学 有机化学
作者
Yuxiang Qin,Yongyao Wang,Yi Liu
出处
期刊:Journal of Materials Science: Materials in Electronics [Springer Science+Business Media]
卷期号:27 (11): 11319-11324 被引量:9
标识
DOI:10.1007/s10854-016-5255-1
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