已入深夜,您辛苦了!由于当前在线用户较少,发布求助请尽量完整的填写文献信息,科研通机器人24小时在线,伴您度过漫漫科研夜!祝你早点完成任务,早点休息,好梦!

Investigating focus elongation using a spatial light modulator for high-throughput ultrafast-laser-induced selective etching in fused silica

材料科学 光学 激光器 空间光调制器 蚀刻(微加工) 微加工 焦点深度(构造) 光电子学 光学(聚焦) 超短脉冲 高斯光束 纳米技术 梁(结构) 物理 制作 医学 古生物学 俯冲 替代医学 图层(电子) 病理 生物 构造学
作者
S. R. McArthur,Robert R. Thomson,Calum A. Ross
出处
期刊:Optics Express [The Optical Society]
卷期号:30 (11): 18903-18903 被引量:3
标识
DOI:10.1364/oe.454280
摘要

Ultrafast-laser-induced selective chemical etching is an enabling microfabrication technology compatible with optical materials such as fused silica. The technique offers unparalleled three-dimensional manufacturing freedom and feature resolution but can be limited by long laser inscription times and widely varying etching selectivity depending on the laser irradiation parameters used. In this paper, we aim to overcome these limitations by employing beam shaping via a spatial light modulator to generate a vortex laser focus with controllable depth-of-focus (DOF), from diffraction limited to several hundreds of microns. We present the results of a thorough parameter-space investigation of laser irradiation parameters, documenting the observed influence on etching selectivity and focus elongation in the polarization-insensitive writing regime, and show that etching selectivity greater than 800 is maintained irrespective of the DOF. To demonstrate high-throughput laser writing with an elongated DOF, geometric shapes are fabricated with a 12-fold reduction in writing time compared to writing with a phase-unmodulated Gaussian focus.
最长约 10秒,即可获得该文献文件

科研通智能强力驱动
Strongly Powered by AbleSci AI
更新
大幅提高文件上传限制,最高150M (2024-4-1)

科研通是完全免费的文献互助平台,具备全网最快的应助速度,最高的求助完成率。 对每一个文献求助,科研通都将尽心尽力,给求助人一个满意的交代。
实时播报
1秒前
1秒前
李博士发布了新的文献求助10
5秒前
钮祜禄萱完成签到 ,获得积分10
8秒前
香妃发布了新的文献求助10
9秒前
田柾国完成签到,获得积分10
12秒前
lenon发布了新的文献求助10
13秒前
111完成签到 ,获得积分10
21秒前
somebodyzou发布了新的文献求助200
27秒前
鹤鸣完成签到 ,获得积分10
32秒前
Ava应助陶1122采纳,获得10
35秒前
qqq完成签到,获得积分10
37秒前
一然完成签到,获得积分10
39秒前
fuueer完成签到 ,获得积分10
40秒前
lenon完成签到,获得积分10
46秒前
丁丁发布了新的文献求助10
47秒前
认真沅完成签到 ,获得积分10
54秒前
阿波罗完成签到 ,获得积分10
54秒前
zzz完成签到,获得积分10
56秒前
勼勼完成签到,获得积分10
59秒前
1分钟前
1分钟前
小小牛完成签到 ,获得积分10
1分钟前
1分钟前
zoe完成签到 ,获得积分10
1分钟前
勼勼发布了新的文献求助10
1分钟前
伊笙完成签到 ,获得积分10
1分钟前
1分钟前
1分钟前
西伯利亚蟑螂玩冰嬉完成签到 ,获得积分10
1分钟前
1分钟前
华仔应助昵昵昵昵呀采纳,获得10
1分钟前
QP34完成签到 ,获得积分10
1分钟前
隐形路灯完成签到 ,获得积分10
1分钟前
momo完成签到,获得积分10
1分钟前
maomao发布了新的文献求助10
1分钟前
1分钟前
1分钟前
xyyyy完成签到 ,获得积分10
1分钟前
1分钟前
高分求助中
Un calendrier babylonien des travaux, des signes et des mois: Séries iqqur îpuš 1036
Sustainable Land Management: Strategies to Cope with the Marginalisation of Agriculture 1000
Corrosion and Oxygen Control 600
Heterocyclic Stilbene and Bibenzyl Derivatives in Liverworts: Distribution, Structures, Total Synthesis and Biological Activity 500
重庆市新能源汽车产业大数据招商指南(两链两图两池两库两平台两清单两报告) 400
Division and square root. Digit-recurrence algorithms and implementations 400
行動データの計算論モデリング 強化学習モデルを例として 400
热门求助领域 (近24小时)
化学 材料科学 医学 生物 有机化学 工程类 生物化学 纳米技术 物理 内科学 计算机科学 化学工程 复合材料 遗传学 基因 物理化学 催化作用 电极 光电子学 量子力学
热门帖子
关注 科研通微信公众号,转发送积分 2545204
求助须知:如何正确求助?哪些是违规求助? 2175576
关于积分的说明 5600025
捐赠科研通 1896314
什么是DOI,文献DOI怎么找? 946125
版权声明 565327
科研通“疑难数据库(出版商)”最低求助积分说明 503541