Compositional and electrical modulation of niobium oxide thin films deposited by plasma-enhanced atomic layer deposition

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作者
Seung-Hwan Lee,Jung-Dae Kwon,Ji‐Hoon Ahn,Jin‐Seong Park
出处
期刊:Ceramics International [Elsevier BV]
卷期号:43 (8): 6580-6584 被引量:19
标识
DOI:10.1016/j.ceramint.2017.02.089
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