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作者
Tsung-Fu Yao,
Andrew Duenner,
Michael Cullinan
出处
期刊:
Precision Engineering-journal of The International Societies for Precision Engineering and Nanotechnology
[Elsevier BV]
日期:2016-08-02
卷期号:47: 147-157
被引量:41
标识
DOI:10.1016/j.precisioneng.2016.07.016
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