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Laser machining of silicon carbide: current status, applications and challenges

碳化硅 材料科学 激光器 机械加工 电流（流体） 光电子学 工程物理 冶金 光学 工程类 电气工程 物理
作者
Yan Peng,Junshan Zeng,Xiaozhu Xie,Changrong Chen,Yajun Huang
出处
期刊：Optics and Laser Technology [Elsevier BV]
日期：2025-06-17 卷期号：191: 113376-113376 被引量：23
标识
DOI：10.1016/j.optlastec.2025.113376
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