发布文献求助

Anisotropic atomic layer etching of molybdenum by formation of chloride/oxychloride

钼 图层（电子） 氯化物 蚀刻（微加工） 各向异性 材料科学 化学工程 无机化学 化学 冶金 纳米技术 光学 物理 工程类
作者
Yun Jong Jang,Doo San Kim,Hae In Kwon,Hong Seong Gil,Kyoung Chan Kim,Dae Whan Kim,Byeong Hwa Jeong,Dong Woo Kim,Geun Young Yeom
出处
期刊：Applied Surface Science [Elsevier BV]
日期：2025-04-01 卷期号：: 163208-163208
标识
DOI：10.1016/j.apsusc.2025.163208
相关文献
科研通智能强力驱动
Strongly Powered by AbleSci AI
科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。 对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。
实时播报
Owen的应助被孤独士晋采纳，获得10
刚刚
balzacsun发布了新的文献求助10
1秒前
1秒前
1秒前
2秒前
科研通AI5的应助被闪闪的夜阑采纳，获得10
2秒前
英俊的铭的应助被你好采纳，获得10
3秒前
Niar完成签到 ，获得积分10
3秒前
Jasper的应助被hopy采纳，获得10
4秒前
4秒前
5秒前
桐桐的应助被烂漫臻采纳，获得10
5秒前
Druid完成签到，获得积分10
6秒前
忙内完成签到，获得积分10
6秒前
锅包肉发布了新的文献求助10
7秒前
上官若男的应助被ikun采纳，获得10
7秒前
在水一方的应助被沉静的龙猫采纳，获得10
7秒前
我是老大的应助被CD采纳，获得10
7秒前
依灵完成签到，获得积分10
7秒前
9秒前
香蕉觅云的应助被科研通管家采纳，获得10
9秒前
科研助手6的应助被逗逗采纳，获得10
9秒前
9秒前
今后的应助被科研通管家采纳，获得10
9秒前
慕青的应助被科研通管家采纳，获得10
9秒前
冰魂的应助被科研通管家采纳，获得10
9秒前
无花果的应助被科研通管家采纳，获得10
9秒前
天天快乐的应助被科研通管家采纳，获得10
10秒前
科目三的应助被科研通管家采纳，获得10
10秒前
小蘑菇的应助被科研通管家采纳，获得10
10秒前
XCXC的应助被科研通管家采纳，获得10
10秒前
共享精神的应助被科研通管家采纳，获得10
10秒前
10秒前
10秒前
weisuonan101完成签到，获得积分10
12秒前
mumu发布了新的文献求助10
13秒前
yyang发布了新的文献求助10
14秒前
氢氦锂皮皮完成签到，获得积分10
15秒前
852的应助被研友_ZGR9Vn采纳，获得10
15秒前
Eureka完成签到 ，获得积分10
15秒前
高分求助中
Thinking Small and Large 500
Algorithmic Mathematics in Machine Learning 500
Handbook of Innovations in Political Psychology 400
Mapping the Stars: Celebrity, Metonymy, and the Networked Politics of Identity 400
Visceral obesity is associated with clinical and inflammatory features of asthma: A prospective cohort study 300
Getting Published in SSCI Journals: 200+ Questions and Answers for Absolute Beginners 300
Engineering the boosting of the magnetic Purcell factor with a composite structure based on nanodisk and ring resonators 240
热门求助领域 （近24小时）
化学 材料科学 医学 生物 工程类 有机化学 物理 生物化学 纳米技术 计算机科学 化学工程 内科学 复合材料 物理化学 电极 遗传学 量子力学 基因 冶金 催化作用
热门帖子
关注 科研通微信公众号，转发送积分 3838272
求助须知：如何正确求助？哪些是违规求助？ 3380566
关于积分的说明 10514922
捐赠科研通 3100184
什么是DOI，文献DOI怎么找？ 1707357
邀请新用户注册赠送积分活动 821678
科研通“疑难数据库（出版商）”最低求助积分说明 772890
Copyright © 2020-2025 AbleSci.COM, 科研通, All Right Reserved
科研通是非营利科研互助平台，不忘初心，为科研助力
本站互助的所有文件仅供个人学习研究用，禁止任何人把求助的所得文献进行盈利或传播
版权声明 关于本站 捐赠本站 提交工单 客服中心
皖ICP备2024041134号-1 皖公网安备34019202002308
科研通【文献互助QQ群】：如果您有特殊求助，或发布求助超过24小时未得到应助，可加群求助，群号：941272744【点击一键加群】
科研通【志愿服务QQ群】：如果您热爱文献互助，有热心愿意为更多人服务，请加入小伙伴群，点击申请加入
关注微信服务号
科研通