Cerium contamination on silicon carbide optics during CMP: TOF-SIMS, XPS characterization, and ReaxFF MD simulation

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作者
Yongjie Li,Longxiang Li,Hongda Wei,Xingchang Li,Yiren Wang,Shi Pan,Xuejun Zhang
出处
期刊:Applied Surface Science [Elsevier BV]
卷期号:703: 163390-163390 被引量:3
标识
DOI:10.1016/j.apsusc.2025.163390
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