Controllable diamond cutting of structured surfaces with subnanometric height features on silicon

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作者
Zhongwei Li,Yuan-Liu Chen
出处
期刊:Precision Engineering-journal of The International Societies for Precision Engineering and Nanotechnology [Elsevier BV]
卷期号:90: 96-107 被引量:6
标识
DOI:10.1016/j.precisioneng.2024.08.005
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