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Characterization analysis of 355 nm pulsed laser cutting of 6H-SiC

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作者
Shih‐Feng Tseng,Cheng-Xing Luo,Wen-Tse Hsiao
出处
期刊：The International Journal of Advanced Manufacturing Technology [Springer Science+Business Media]
日期：2023-12-20 卷期号：130 (5-6): 3133-3147 被引量：12
标识
DOI：10.1007/s00170-023-12802-2
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