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Phase and surface roughness evolution for as-deposited LPCVD silicon films

材料科学 化学气相沉积 硅 表面粗糙度 表面光洁度 相（物质） 沉积（地质） 纳米技术 光电子学 复合材料 化学 地质学 古生物学 有机化学 沉积物
作者
C. Cobianu,R. Plugaru,N. Nastase,Samuel A. Nastase,Costel Flueraru,M. Modreanu,J. Adamczevska,W. Paszkowicz,J. Auleytner,P. Cosmin
出处
期刊：Journal de physique [Springer Science+Business Media]
日期：1999-09-01 卷期号：09 (PR8): Pr8-1090 被引量：8
标识
DOI：10.1051/jp4:19998135
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