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Thermal reliability analysis and optimization of polymer insulating through-silicon-vias (TSVs) for 3D integration

可靠性（半导体）材料科学硅通过硅通孔三维集成电路热的聚合物光电子学电子工程可靠性工程集成电路复合材料工程类量子力学物理气象学功率（物理）

作者

Shun‐Shi Zhong,Shiwei Wang,QianWen Chen,Yingtao Ding

出处

期刊：Science China-technological Sciences [Springer Science+Business Media]
日期：2013-11-13 卷期号：57 (1): 128-135 被引量：7

标识

DOI：10.1007/s11431-013-5409-9

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