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Chemical mechanical polishing of thermal oxide films using silica particles coated with ceria

抛光材料科学泥浆薄脆饼化学机械平面化氧化物胶体二氧化硅化学工程热的胶体复合材料冶金纳米技术涂层物理气象学工程类

作者

Seungho Lee,Zhenyu Lu,Suryadevara V. Babu,Egon Matijević

出处

期刊：Journal of Materials Research [Springer Nature]
日期：2002-10-01 卷期号：17 (10): 2744-2749 被引量：121

标识

DOI：10.1557/jmr.2002.0396

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