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A new scanning MEMS mirror

作者

Z. F. Wang,Wilfried Noell,Michael J. Zickar,Nico de Rooij,S. P. Lim

出处

期刊：Microsystem Technologies-micro-and Nanosystems-information Storage and Processing Systems [Springer Science+Business Media]
日期：2007-01-03 卷期号：13 (11-12): 1595-1599

链接

标识

DOI：10.1007/s00542-006-0343-4

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