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Electro-chemical mechanical polishing of single-crystal SiC using CeO2 slurry

抛光 磨料 化学机械平面化 泥浆 材料科学 钻石 表面粗糙度 阳极 冶金 图层（电子） 电解质 表面光洁度 氧化物 Crystal（编程语言） 磨损（机械） 复合材料 电极 化学 程序设计语言 物理化学 计算机科学
作者
Hui Deng,Kenji Hosoya,Yusuke Imanishi,Katsuyoshi Endo,Kazuya Yamamura
出处
期刊：Electrochemistry Communications [Elsevier BV]
日期：2015-01-12 卷期号：52: 5-8 被引量：107
链接
sciencedirect.comdoi.org
标识
DOI：10.1016/j.elecom.2015.01.002
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