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Al2O3 blocking layer inserted ZrO2 Metal-Insulator-Metal capacitor for the improved electrical and interfacial properties

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作者

Hongseon Song,Dokyoung Kim,Sangyeol Kang,Hyung‐Suk Jung,Hanjin Lim,Kijung Yong

出处

期刊：Thin Solid Films [Elsevier BV]
日期：2020-09-29 卷期号：713: 138368-138368 被引量：13

标识

DOI：10.1016/j.tsf.2020.138368

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