Al2O3 blocking layer inserted ZrO2 Metal-Insulator-Metal capacitor for the improved electrical and interfacial properties

材料科学 电容器 电介质 X射线光电子能谱 扩散阻挡层 原子层沉积 高-κ电介质 电容 退火(玻璃) 电极 薄膜 金属绝缘体金属 光电子学 分析化学(期刊) 复合材料 图层(电子) 纳米技术 化学工程 冶金 化学 电气工程 电压 物理化学 色谱法 工程类
作者
Hongseon Song,Dokyoung Kim,Sangyeol Kang,Hyung‐Suk Jung,Hanjin Lim,Kijung Yong
出处
期刊:Thin Solid Films [Elsevier BV]
卷期号:713: 138368-138368 被引量:13
标识
DOI:10.1016/j.tsf.2020.138368

科研通智能强力驱动
Strongly Powered by AbleSci AI
科研通是完全免费的文献互助平台,具备全网最快的应助速度,最高的求助完成率。 对每一个文献求助,科研通都将尽心尽力,给求助人一个满意的交代。
实时播报
1秒前
lihua完成签到,获得积分10
1秒前
自信的昊强完成签到,获得积分20
1秒前
2秒前
呆萌的太阳完成签到,获得积分10
2秒前
w2503发布了新的文献求助60
2秒前
Jasper应助温煦采纳,获得10
2秒前
3秒前
mmt发布了新的文献求助10
3秒前
zhaozhao完成签到,获得积分10
3秒前
sxpab发布了新的文献求助10
3秒前
Bolag发布了新的文献求助30
3秒前
SciGPT应助Zzoe_S采纳,获得10
4秒前
搞怪文轩完成签到,获得积分10
4秒前
彭于晏应助huazhangchina采纳,获得10
4秒前
互助应助swall5w采纳,获得20
4秒前
不安听露发布了新的文献求助10
5秒前
山屲老翁发布了新的文献求助10
5秒前
5秒前
积极纲完成签到,获得积分10
5秒前
5秒前
福尔摩琪完成签到,获得积分10
5秒前
6秒前
6秒前
bkagyin应助CCC采纳,获得10
6秒前
JUNE-gj发布了新的文献求助10
7秒前
大个应助嘻嘻采纳,获得10
7秒前
JamesPei应助江柏采纳,获得10
8秒前
YBY发布了新的文献求助10
8秒前
8秒前
牛顿的苹果完成签到,获得积分10
9秒前
眼睛大巧荷完成签到,获得积分10
9秒前
SZK应助minmin采纳,获得30
9秒前
感动的小甜瓜完成签到,获得积分10
9秒前
脑洞疼应助Graiden采纳,获得10
9秒前
康小健发布了新的文献求助10
10秒前
李BO发布了新的文献求助10
10秒前
10秒前
酷波er应助Daisy采纳,获得10
10秒前
10秒前
高分求助中
Overcoming Stigma and Bias in Obesity Management 800
Malcolm Fraser : a biography 700
Signals, Systems, and Signal Processing 610
Materials selection in mechanical design 500
Bounds for Statistical Estimation in Semiparametric Models 500
Forced degradation and stability indicating LC method for Letrozole: A stress testing guide 500
Ideology and Meaning-Making under the Putin Regime 450
热门求助领域 (近24小时)
化学 材料科学 医学 生物 纳米技术 工程类 有机化学 化学工程 生物化学 计算机科学 物理 内科学 复合材料 催化作用 物理化学 光电子学 电极 细胞生物学 基因 无机化学
热门帖子
关注 科研通微信公众号,转发送积分 6478722
求助须知:如何正确求助?哪些是违规求助? 8280233
关于积分的说明 17660271
捐赠科研通 5561280
什么是DOI,文献DOI怎么找? 2911216
邀请新用户注册赠送积分活动 1888251
关于科研通互助平台的介绍 1742151