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作者
Yi-Chang Lee,
Jye‐Lin Hsu,
Paul C.-P. Chao
出处
期刊:
Microsystem Technologies-micro-and Nanosystems-information Storage and Processing Systems
[Springer Nature]
日期:2023-04-10
卷期号:29 (8): 1083-1098
标识
DOI:10.1007/s00542-023-05449-2
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