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Polysilicon vibrating gyroscope vacuum-encapsulated in an on-chip micro chamber
作者
Toshiyuki Tsuchiya,
Yasuyuki Kageyama,
Hirofumi Funabashi,
Jiro Sakata
出处
期刊：
Sensors and Actuators A-physical
[Elsevier BV]
日期：2001-05-01
卷期号：90 (1-2): 49-55
被引量：53
标识
DOI：10.1016/s0924-4247(00)00565-3
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