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Effective p-type doping for leakage current reduction of ZrO2 by employing Sc2O3

材料科学兴奋剂电流（流体）泄漏（经济）光电子学电气工程工程类宏观经济学经济

作者

J. W. Nam,Seungwoo Lee,Hansol Oh,Hanbyul Kim,Yongjoo Park,In‐hwan Baek,Woojin Jeon

出处

期刊：Materials Science in Semiconductor Processing [Elsevier BV]
日期：2025-03-18 卷期号：192: 109485-109485 被引量：3

标识

DOI：10.1016/j.mssp.2025.109485

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