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Effect of Water-Cooling Jacket on Thermal Stress of Large-Diameter Silicon Grown by Czochralski Method

材料科学硅热的复合材料压力（语言学）直拉法冶金热力学语言学物理哲学

作者

Luxi Li,Xiaohan Wan,Wenhui Ma,Shaoyuan Li,Shicong Yang

出处

期刊：Silicon [Springer Science+Business Media]
日期：2024-04-29 卷期号：16 (10): 4273-4280 被引量：6

标识

DOI：10.1007/s12633-024-03004-w

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